Чтение онлайн

Виктор Лучинин рассказывает, что благодаря родителям-медикам был увлечен биологией и медициной и потому знал, что углерод и кремний — основополагающие элементы для возникновения различных биологических объектов. В ходе обсуждения с коллегами вопросов политипизма ему пришло в голову, что принцип матричного копирования, то есть генетическая передача структурной информации, универсальный для живой природы, можно перенести и в материаловедение. «Нашей группе удалось, — вспоминает ученый, — сформировать технологическую концепцию, основанную на биологическом принципе матричной репликации и представлениях о кинетическом ростовом фазовом переходе. Матрикс — от латинского mater: “основа”, “мать”, то есть важна структура “материнской” подложки, на которой происходит рост материала. Это очень похоже на эффект самокопирования биотканей. Эволюция подразумевает изменение, динамику. Я увидел, что в зависимости от скорости осаждения вещества на поверхность твердой фазы мы также можем варьировать структуры модификаций материала и закреплять его свойства. В результате были получены эпитаксиальные слои карбида кремния с “островками” иного политипа в заданной конфигурации». Так сформировалась принципиально новая для тех лет технологическая концепция — эволюционно-генетическая, причем перспективы ее развития и использования распространились далеко за пределы собственно карбидокремниевой технологии.

Должны зарабатывать сами

В аспирантуре Виктор Лучинин продолжил работать по карбидной тематике, по-прежнему занимаясь процессами эпитаксии карбида кремния методом сублимации и проблемами политипизма. Большой объем работы вместе с аспирантами выполняли студенты, которые охотно шли в лабораторию ради интересной работы и возможности прилично подработать, благо у ЛЭТИ было много хоздоговоров. «Без студентов экспериментальная наука в вузе невозможна, — говорит Лучинин. — Более того, благодаря научному авторитету нашей группы мы могли выбирать тогда лучших студентов и продолжаем эту практику сейчас».

Название диссертации звучало тогда необычно: «Эволюционно-генетическая модель политипизма карбида кремния». Научный руководитель Лучинина Юрий Таиров из-за консервативной реакции оппонентов: «У нас за концепции кандидатских степеней не присваивают» — предложил переформулировать название работы на другое, с более привычными для лэтишных технократов терминами, — «Гетероэпитаксия и микропрофилирование в технологии карбида кремния». Блестяще защитив свою научную работу, Лучинин продолжает работу в лаборатории в качестве младшего научного сотрудника, а потом получает место ассистента на кафедре. По его рассказу, он всегда занимался технологиями, и, памятуя об этом, его отряжают в Ленинградское объединение электронного приборостроения «Светлана», флагман советской электронной промышленности и ведущее предприятие ВПК в этой сфере. При объединении работал факультет повышения квалификации инженеров, где преподаватели ЛЭТИ читали лекции по курсу «Технология полупроводниковых приборов». Проблема заключалась в том, что профессура пыталась заново научить уже состоявшихся технологов и конструкторов тому, «как и что делается». Инженерно-технических же работников «Светланы», и без того знавших реальное производство лучше институтских преподавателей, больше интересовали вопросы, связанные с конкретными физико-химическими проблемами и технологическими нюансами, с которыми им приходилось сталкиваться по ходу работы. Курс Виктора Лучинина, всегда старавшегося разобраться в глубинных процессах применительно к полупроводниковым технологиям, получает популярность, молодой преподаватель успешно читает здесь лекции четыре года, попутно осваивая тонкости микроэлектронного производства.

С такой «птичкой» можно лететь в разведку

В 1984 году Лучинин занимает должность доцента на кафедре диэлектриков и полупроводников. Двумя годами позже в ЛЭТИ приступают к запуску нового лабораторного комплекса с так называемой гермозоной, на строительство которого государство выделило приличные деньги, и под эту статью можно было покупать приборы. В частности, были приобретены редкие тогда просвечивающий и растровый электронные микроскопы. Так началось комплектование оборудованием будущего Центра микротехнологии и диагностики (ЦМИД).

В ЛЭТИ был объявлен своеобразный конкурс на лучшие предложения, как эффективнее воспользоваться исследовательскими возможностями нового комплекса. Лучинин выдвинул два тезиса, объединенных в единую концепцию создания центра. С технологической точки зрения он должен был быть ориентирован в первую очередь на корпускулярно-пучковые технологии и диагностику, а с точки зрения организационной — превратиться в центр коллективного пользования, в отличие от других поданных проектов, предлагавших, по сути, растащить лабораторные площади по отдельным кафедрам. Идея, чтобы гермозона ЛЭТИ развивалась как целостная система, а не представляла собой эклектическую совокупность «удельных княжеств» в виде лабораторий разных кафедр, была поддержана Юрием Таировым, тогдашним проректором ЛЭТИ по научной работе, а с его подачи и научным советом института. На самого Виктора Лучинина возложили обязанности руководителя созданного межвузовского отдела микроэлектронной технологии, заведующие же кафедрами вошли в коллегиальный научно-технический совет при МОМЭТ.

Но было одно важное условие, в значительной мере предопределившее автономное развитие межвузовского отдела: ему ограничили институтский лимит на фонд заработной платы 24 тыс. рублей в год, а все остальное МОМЭТ должен был зарабатывать сам, самостоятельно находя хоздоговорные работы и не залезая в бюджет ЛЭТИ. Институтский бюджет, рассказывает Лучинин, в основном складывался из государственных вложений в НИР, а также из вложений промышленных предприятий, получавших необходимых им специалистов-выпускников и обязанных отдавать готовившему их вузу 10% своего НИОКР-бюджета. Конечно, и в самом институте, продолжает рассказ ученый, приличная часть и бюджета, и заработка преподавателей, аспирантов и студентов складывалась за счет таких работ, но в проблемные лаборатории института подобные заказы шли по накатанной от профильных предприятий. Новому же лабораторному комплексу как отдельному подразделению предлагалось искать заказы самостоятельно. «С 1986 года и до сих пор, — рассказывает ученый, — я живу на хозрасчете. Здесь у меня нет бессрочного штатного расписания (не считая небольшого административного аппарата), и тогда, и сейчас научный работник каждый год заново заключает срочное соглашение, так как я могу гарантировать ему работу только в течение определенного промежутка времени. Моя же задача — найти работы, которые давали бы возможность существовать самому центру и материально стимулировать и поддерживать работающих у меня профессионалов».

От декоративных покрытий к ядерной безопасности

Новый руководитель оправдывает надежды своих новых подчиненных, развив бурную деятельность в поисках новых заказов. Через год после образования МОМЭТ участвует в разработке, создании и организации серийного производства первого отечественного электронно-лучевого тестера интегральных схем РЭМ-102Э на сумском ПО «Электрон». Годом позже на этом же предприятии МОМЭТ налаживает промышленный выпуск первого отечественного полностью автоматизированного просвечивающего электронного микроскопа ПЭМ-100. Как и прежде, проводится много исследований по заказу предприятий ВПК, вносивших значительный вклад в финансирование разработок. В 1988 году в интересах НПО «Гранит» отрабатываются процессы создания приборов на поверхностно-акустических волнах для систем управления ракет, а НПО, в свою очередь, в рамках совместной программы устанавливает в лабораторию технологическую линию. С электронными предприятиями Зеленограда МОМЭТ разрабатывает электронно-зондовые системы для контроля и диагностики интегральных микросхем, которые нельзя было купить на Западе из-за ограничений Координационного комитета по экспортному контролю.

Продолжаются поисковые работы. Предвидя, что междисциплинарные и конвергентные технологии и системы ждет бурное развитие, Виктор Лучинин много работает в биологической сфере. Его аспиранты занимаются осаждением из жидкой фазы монокристаллов аналогов фосфолипидов — органических веществ, которые являются основой биологических мембран. По-прежнему продолжается разработка теории и реализация процесса матричного синтеза объектов неорганической природы, синтезируются редкие структурные модификации карбида кремния и нитрида алюминия.

К 1991 году на базе МОМЭТ сформировался мощный центр НИОКР, проводивший более 15% объема научно-исследовательской деятельности всего университета. Под началом Лучинина там работает уже около ста человек. Тогда же МОМЭТ был преобразован в Центр микротехнологии и диагностики.

В начале 1990-х рушится практически вся научно-производственная империя микроэлектроники, созданная в СССР (соотношение того, что было раньше, и того, что есть сейчас, — десять к одному, говорит ученый). В институтских лабораториях, руководители которых привыкли жить за счет госфинансирования, практически не остается людей, работавших в научно-исследовательском секторе. Для ЦМИД тоже наступают трудные времена. Но центр теряет только пятую часть своих работников, причем большей частью тех, кто увидел открывающиеся возможности для создания бизнеса. Привыкший искать и находить заказы, руководитель центра для выживания своего детища заключает контракты на нанесение упрочняющих и декоративных покрытий: на вакуумно-дуговых, ионно-плазменных установках лаборатории тонируют стекла машин, стеклянную посуду и столовые приборы. «Мы были вынуждены этим заниматься, — оправдывается Лучинин, — мне нужно было кормить людей. Они, конечно, получали небольшие деньги, но их хватало на самое необходимое. Я с гордостью могу сказать: у нас не было ни одного месяца и в эти тяжелые времена, чтобы работники не получали свою официальную зарплату». Еще одним источником финансирования становятся образовательная программа «Человек в экстремальных условиях» и технологическая «Научное приборостроение», которые удалось пробить в Комитете по науке и технике.

Виктор Лучинин, директор ЦМИД и заведующий кафедрой микро- и наноэлектроники ЛЭТИ

Фото: Александр Крупнов

Существенно помогают и заказы от западных фирм. Специалисты General Electric, где знали о дореформенных работах ЦМИД в области аналитического приборостроения, привозили для экспертизы на патентную чистоту микросхемы тайваньского и малайзийского производства, многие из которых были скопированы с оригинальных микросхем GE и других известных компаний.